-瞬時3D表面形貌測量
-測量5微米至9毫米深的缺陷和特征
-直接測量大型組件?-?無需復制
-輕松測量復雜的幾何形狀
-手持式，工作站或配合機器人
基本規格
采 ? ?集 ? ? ? ? ? ? ? ? ? 即時，非接觸式三維表面測量
測量范圍 ? ? ? ? ? ? ? ?5μm-9mm深/高 缺陷和特征
視場范圍（模塊） ? 15.0 x 15.0 mm
橫向采樣 ? ? ? ? ? ? ? ?12.5μm
垂直分辨率 ? ? ? ? ? ? ?2.5μm
安 ? ?裝 ? ? ? ? ? ? ? ?手持或工作站
工作距離 ? ? ? ? ? ? ? ?60毫米
軟件
軟件分析 ? ? ? ? ? ? ? ?4D InSpec控制和分析軟件
測量模式 ? ? ? ? ? ? ? ?單次曝光模式，分辨率增強的多次曝光模式
缺陷檢測 ? ? ? ? ? ? ? ?基于高度和面積閾值的特征識別
缺陷計算 ? ? ? ? ? ? ? ?最大高度，體積，面積，最大斜率，密度，縱橫比，XY位置
數據顯示 ? ? ? ? ? ? ? ?輪廓，3D圖形，任意位置處的XY截面圖
數據輸出 ? ? ? ? ? ? ? ?3D表面圖形，特征分析統計表
數據選取 ? ? ? ? ? ? ? ?基于信噪比的屏蔽，利用矩形ROI屏蔽算法進行分析
導入導出 ? ? ? ? ? ? ? ?將數據導出到XYZ點云
計算機 ? ? ? ? ? ? ? ? ?一體式觸摸屏電腦，筆記本電腦或客戶自己提供
電氣/機械
尺 ? 寸 ? ? ? ? ? ? ? ? ?280mmx 50mmx 70mm
光 ? 源 ? ? ? ? ? ? ? ? ?450納米LED，平均無故障時間100,000小時
傳感器 ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1200 x 1200 像素, 12位 CMOS 相機
電力消耗 ? ? ? ? ? ? ? ? 4D InSpec部分＜10 W；計算機系統＜250 W， 120伏電壓
重 ? ?量 ? ? ? ? ? ? ? ? 0.9公斤
電纜長度 ? ? ? ? ? ? ? ? 3米
工作溫度 ? ? ? ? ? ? ? ? 50-86°F（10-30°C）
工作濕度 ? ? ? ? ? ? ? ? > 98％，無冷凝
性能
本底噪聲 ? ? ? ? ? ? ? ? <2.5μm
垂直重復性 ? ? ? ? ? ? ?<1μm
精度（標準塊） ? ? ? ?<2％
重復性（標準塊） ? ? < 0.5%
景 ? ?深 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?9mm
最小粗糙度 ? ? ? ? ? ? ? Ra ~120 nm
保修一年
如需了解詳細產品性能，歡迎來電咨詢：15904050478
