校準塊
經過卡爾蔡司認證的高度校準塊，該校準塊滿足計量實驗室更高等級精度要求，溝槽精度：
? 50 μm溝槽不確定度：80 nm
? 200 μm溝槽不確定度：100 nm
? 600 μm溝槽不確定度：100 nm
? 900 μm溝槽不確定度： 180 nm
500w移動UPS
獨立續航時間：針對4D便攜式表面缺陷測量儀大約8小時，連續正常使用6小時。?
反射鏡組
反射鏡可用于光線不能直接測量的部位，例如葉盤葉片表面、葉盤根部、管道內部等，包括：
? 20 mm 左手式
? 20 mm 右手式
? 12 mm 左手式
? 12 mm 右手式
移動式工作站
移動式工作站包含：24"一體式觸屏電腦、500W移動UPS，可在車間現場移動。
腳踏開關
腳踏開關方便檢測人員在測量大型工件時采集數據。
